Verre Quartz

Le quartz est un un verre de grande pureté composé uniquement de SiO2.

Dans certains cas, l'acier inoxydable n'est pas suffisamment résistant aux procédés plasma. Dans de tels cas, le matériau de la chambre plasmaChambre est le quartz qui est résistant à la plupart des procédés de plasma.

Par ailleurs, hublots et fenêtres de la chambre plasma sont toujours en quartz, ainsi que les carrousels des substrats dans le cas de certains procédés particuliers de gravureGravure - 'Etching'. Par exemple, les wafers silicium sont placées dans des supports en quartz pour la gravure plasma.

Comme le quartz, contrairement  à l'acier inoxydable est transparent aux champs électriques haute fréquence, des chambres en quartz sont utilisées pour la fabrication des systèmes plasma micro-ondes générés par magnétronsMagnétron.

La chambre du système plasma « Bel Jar » est en quartz.