Ultra-vide

Désignation d'un niveau de vide inférieur à 10-7 mbar. Le libre parcours moyen d'une particule sous cette pression est environ d'un 1 km.

Un ultra-vide peut être atteint grâce à un pompes à vide turbo moléculaire, lorsque le système de vide est parfaitement étanche et que  les composants qui y sont placés ne dégazent de la façon la plus faible possible.

L'Ultravide n'est nécessaire que pour quelques applications industrielles telles que le dopage des semi-conducteurs.

Une pompe à palette permet d'atteindre un vide jusqu'à 10-3 mbar, une pompe turbo moléculaire un vide de 10-10 mbar