Ultra Haute Pureté (UHP)

En anglais "Ultra High Purity" Abréviation "UHP".

Cette désignation est fréquemment appliquée pour les systèmes plasma de Diener electronic équipés de chambres en verre. Les chambres, si elles ne sont pas en acier inoxydable, sont en quartz UHP ou en verre de silicate de bore (verre borosilicate).

 

L'option UHP est disponible pour les systèmes Femto, Pico et Nano plasma. Les chambres en quartz sont utilisées en particulier dans le cas du plasma micro-onde (2.45 GHz) et lorsque des surfaces ultra propres sont nécessaires.

 

Les chambres standards en acier inoxydable ou en aluminium ainsi que tous les composants à l'intérieurtels que les électrodes, sont sujets à être pulvérisés électrodedans le cas de certains procédés plasma. Les composants à l'intérieur d'un système de plasma UHP sont habituellement enrobés d'alumine Al2O3.

La chambre du système plasma ‘Bell Jar’ est en quartz UHP.