Analyse TOF-SIMS

TOF-SIMS est l'acronyme anglais de Time Of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry, soit en français Temps de vol - Spectrométrie de masse à ionisation secondaire

Méthode d'analyse des surfaces impliquant le bombardement de cette dernière par un faisceau pulsé d'ions. Le temps de vol des ions secondaires émis, leur masse et donc leur nature sont analysés et identifiés.