Silicium

Le silicium est l'élément chimique de numéro atomique 14, symbole chimique Si. Il est l'un des éléments les plus fréquents:15% de la masse du globe est du silicium, 25% dans la croûte. Seul l'oxygène est présent en plus grande quantité. Dans la nature, le silicium n'existe pas sous sa forme élémentaire, mais seulement sous forme de composés. Le composé le plus important est minéral, il s'agit de SiO2. Il compose l'essentiel du granit, du sable et du grès. Le SiO2 minéral pur est désigné par le quartz. Dans sa forme pure, il peut être utilisé pour la production de verre quartz. En général, SiO2 est l'élément principal du verre.

L'atome de silicium avec ses quatre électrons de valence a des possibilités similaires au carbone à former des composés et des formes cristallines. Sous sa forme élémentaire, le silicium est un semi-métal ou semi-conducteur. Son efficacité lui vaut d'être de loin le semi-conducteur commercial le plus utilisé. Une raison importante de ce succès est aussi sa capacité à former de très grands monocristaux.

La technologie plasma est utilisée dans de nombreux types de traitements du silicium, plus particulièrement la gravure pour créer des structures géométriques. Souvent des composés fluorés sont utilisés pour la gravure tel que l'hexafluorure de soufre SF6 ou le tétrafluorométhane CF4 . En outre les pistes des circuits des cartes électroniques lui sont appliquées via des procédés de Photolithographiephotolithographie Photolithographieet les revêtements protecteurs par plasma polymérisation .

La gravure ionique réactive (RIE) permet une gravure anisotrope avec des vitesses d'attaque élevées.
Les wafers de silicium semi-conducteurs qui sont utilisés pour la fabrication de dispositifs électroniques sont des tranches minces de grands monocristaux de silicium cylindrique.