Précurseur

Réactif de base qui après réaction chimique donnera un produit spécifique. Dans la technologie plasma, le précurseur est une substance gazeuse ou liquide (qui se transforme en un gaz grâce à un évaporateur). Dans la technologie plasma, le précurseur est le gaz de procédé injecté dans dans la chambre, il est activé par le plasma et transformé en ions, radicaux et atomes excités. Tous ces espèces sont hautement réactives. Par conséquent, le précurseur conduit soit à la gravure de nombreux matériaux ou, est le produit de base utilisé dans le procédé de plasma-polymérisation.

Précurseur
Dans une bouteille le précurseur liquide se transforme en gaz de procédé par bullage avec un gaz.