Pompe Turbomoléculaire

Souvent désignée par "pompe turbo".

La pompe turbo moléculaire est un système permettant d'atteindre une pression de 10-10 mbar, soit un vide poussé (ultra-vide).

Le pompage à ce niveau de vide est fortement influencé par les fuites des connections, et le  dégazage de tous les composants de la chambre à vide.

Une pompe à vide turbo moléculaire est une turbine d'aspect similaire au turbo d'un moteur à combustion, avec une vitesse de rotation pouvant aller jusqu'à 10.000 tr / min.

La pompe turbo moléculaire ne fonctionne qu'avec une pression faible en sortie d'environ 10-3 mbar. Ainsi, l'utilisation d'une pompe à vide turbo moléculaire nécessite donc une pré-vide généré par exemple par une pompe à palettes. Seuls quelques procédés plasma exigent des niveaux de vide justifiants de l'utilisation de pompes turbo-moléculaires.

 

 

Les pompes à palettes sont limitées à une pression minimale d'environ 10-3 mbar. Un vide plus poussé peut être obtenu à l’aide des pompes turbo-moléculaires