Pompe Roots

Aussi désigné par surpresseur Roots.

Les pompes Roots sont souvent utilisées dans la technologie plasma en combinaison avec les pompes à palettes, elles ne permettent pas d’atteindre un niveau de vide poussé, mais un très haut débit de gaz. Par conséquent, ces pompes sont souvent utilisées dans des procédés impliquant des volumes élevés ou pour des substrats qui dégazent fortement.

 

 

La pompe roots permet d'atteindre une pression de 10-3 mbar.