Pompe à vide

La pompe à vide la plus commode d'utilisation dans la technologie du vide ainsi que dans la technologie plasma est  la pompe à palettes lubrifiée à l'huile. Le vide limite pouvant être atteint avec ces pompes est environ de 10-3 mbar.

Si un vide poussé ou un ultra-vide est nécessaire, les pompes à ultra vide telles que les pompes  turbo moléculaires sont utilisées en combinaison avec une pompe à palettes utilisée pour atteindre un pré-vide.

 

 

 

La pompe à palette permet d’obtenir un niveau de vide l’ordre de 10-3 mbar.