Plasma Microondes

Plasma produit par micro-ondes. Le magnétron générant le plasma est situé à l'extérieur du plasma. Le rayonnement est irradié dans la chambre à vide à travers une fenêtre de quartz. La concentration des ions et des radicaux dans le plasma micro-ondes est extrêmement élevée. Par conséquent, il permet des vitesses de gravure maximales.

Générateur de microondes
La radiation microonde n’est pas générée entre deux électrodes mais par un magnétron.