Plasma Basse Pression (Plasma sous vide)

Les plasmas techniques peuvent être obtenus sous pression atmosphérique ou sous pression réduite. Le parcours moyen des ions à la pression atmosphérique est très faible (10-7 m), ainsi le volume du plasma est réduit et les tensions nécessaires à son établissement élevées (haute tension).

Sous pression réduite, le plasma est souvent obtenu par des champs électriques oscillants haute fréquence entre 2 électrodes. En raison de l'importance du libre parcours moyen des espèces gazeuses, ions et radicaux, sous basse pression (10 cm sous 10-3 mbar), le volume du plasma peut dépasser les limites du champ haute fréquence et peut s'étendre au volume complet de la chambre dans laquelle il est créé.

Fondamentalement, n'importe quel gaz peut être utilisé pour obtenir un plasma basse pression. En outre de nombreuses substances, liquides à la pression atmosphérique, passent à l'état gazeux sous basse pression et peuvent ainsi être utilisées comme gaz de procédé. De ce fait, la multitude des gaz de procédé possible permet une multitude de procédés plasma.

 

 

 

Plasma Basse Pression
Un plasma homogène dans un large volume est illustré par une radiation homogène (lumière).