Micro technologie

La production de structures dans les ordres de grandeur de 0,1 um à 1000 um. Le traitement mécanique conventionnel n'est plus applicable pour produire ces structures miniatures. Les méthodes pour travailler dans ces dimensions sont photolithographie et la gravure plasma (RIE, DRIE).

Les applications majeurs des micro-technologies sont:

  • La Micro-électronique: Production de structures de semi-conducteurs et de circuits, en particulier par des procédés de photolithographie.
  • La Micro-optique: Production de composants micro-optiques comme micro-lentilles, fentes.
  • La Micromécanique: éléments mécaniques comme micro pignons, des entrainements, des axes.
  • La Microfluidique: structures pour l'analyse dans l'industrie chimique, biologique et chimique, comprenant des canaux, pompes et vannes avec des dimensions inférieures à 1 mm (voir ⇒ Lab-on-Chip).
  • Les Moules pour la coulée ou la micro-injection de structures micromécaniques ou microfluidiques.

Souvent, intégration de plusieurs microstructures dans une seule unité de façon à éviter des difficultés de montage et de raccordement de ces éléments entre eux dans des dimensions microscopiques. La technologie d'intégration de microsystèmes sur une unité est désignée par la technologie des microsystèmes.

Micro technologies
La microélectronique est l’application majeur des micro technologies mais elle n’est pas la seule.