Microsablage

Les ions sont accélérés par un champ électrique permanent en direction du substrat qu'ils impactent, ils ne réagissent pas avec le matériau de substrat, le motif de gravure physique est très similaire à un effet de sablage mais à l'échelle moléculaire.

Les ions impactant éliminent des atomes Atomeou des molécules Moléculequi peuvent être des composants du substrat, d'un revêtement ou d'une contamination. L'effet de ce "micro-sablage" n'est pas sélectif: il concerne tout les composés chimiques de façon similaire.

Gravure Physique
L’Argon de part ses propriétés de gaz inerte, est le gaz idéal pour la gravure physique puisqu’il ne donne pas lieu à des réactions chimiques avec les substrats.