Magasin

Dans un système plasma basse pression, un plasma homogène est présent dans l'ensemble de la chambre Chambrede sorte que tout son volume peut être utilisé pour le traitement. Par conséquent, dans la production en série de petits composants une multitude de composants peuvent-être traités dans un batch.

Une procédure économique de traitement plasma utilise des tonneaux rotatifs ou des magasins. Un magasin est une grille multicouche de petits composants peuvent être placés dans la position et l'orientation souhaitée. Ceci permet pour une utilisation optimisée du volume de la chambre. Les magasins sont couramment utilisés pour le nettoyage plasma, la gravure plasma et revêtement plasma de composants microélectroniques comme Circuit IntégréIC (circuits intégrés) et leadframesGrille support de connection.