Gravure par Faisceau d'Ions ' Ion Beam Etching'

 

La gravure par faisceau d'ions, 'Ion Beam Etching' fait partie des procédés de gravure sècheGravure sèche. Par opposition à la gravure ionique "standard", 'Ion Etching', les particules réactives sont fournies dans une source séparée d'ions, ils sont injectés et accélérés dans la chambre de gravure à travers une grille.