Radicaux

Revêtement Plasma
La polymérisation résulte de réactions radicalaires dans le plasma et produit des revêtements de polymères à très faible coefficient de friction

Les radicaux sont des atomes ou des molécules qui présentent une couche de valence non totalement occupée, c'est à dire qu'il y a au moins un Électronélectron Électronvalence sur le niveau d'énergie maximum ou au moins un électron manquant pour compléter la couche de valence. Cela provoque une très grande réactivité de l'espèce concernée, car il a tendance à réagir dès que possible avec toute particule susceptible de lui fournir l'électron manquant à sa couche de valence ou à intégrer l'électron solitaire de sa couche de valence incomplète.

Les molécules peuvent être converties en espèce radicalaire par la haute énergie d'un rayonnement UV. Ce rayonnement est émis par le plasma suite à la recombinaison des ions qui le compose avec les électrons libres. Par ce procédé, les radicaux sont générés à l'intérieur du gaz de procédé, ainsi qu'en surface du substrat.

Dans les procédés plasma, les processus de recombinaison, réactions entre radicaux du gaz de procédé, ainsi qu'avec les ions, ou avec les atomes excités (espèces actives) ou encore avec les espèces radicalaires formées en surface du substrat entraîne la génération de nouvelles molécules.