Electrode

Une électrode est un élément électriquement conducteur. Entre une électrode et un second composant conducteur, généralement une seconde électrode, un champ électrique s'établit sous l'effet d'une tension électrique appliquée.

Un tel champ électrique peut générer un plasma suivant l'une des méthodes suivantes.

  • En appliquant une haute tension générant un champ électrique extrêmement intense, un plasma peut être obtenu. Ce principe décrit le procédé pour produire un plasma atmosphérique.
  • Dans un champ électrique oscillant, un plasma peut être produit, sous l'effet de la haute fréquence plutôt que de la haute tension. Cette méthode est utilisée pour obtenir un plasma à basse pression. Électrodes peuvent être séparées par de grandes distances. Par ce procédé, un plasma homogène dans un grand volume peut être engendrer.
Les ions peuvent être accélérés par la charge négative d'une électrode plane et peuvent ainsi donner une composante physique au procédé de gravure chimique.