Les effets du plasma

Les effets d'un plasma industriel sont les suivants :

  • Formation d'atomes stimulés, d'ions et de radicaux provoquant des réactions très efficaces avec presque tous les matériaux de substrat en raison de leur forte réactivité. Cet effet est principalement la gravure plasma, le nettoyage plasma et la polymérisation plasma.
  • Les ions peuvent être accélérés par un champ électrique et ainsi agir d'une façon similaire au sablage dans des dimensions microscopique en raison de leur énergie cinétique élevée. Cet effet est responsable du nettoyage plasmaplasma etching par microsablage et la gravure ionique anisotrope.
  • Rayonnement UV de haute énergie est généré par la recombinaison des électrons avec les ions. Ce rayonnement de haute énergie crack les molécules organiques et produit des radicaux qui sont efficaces dans les réactions chimiques.
Tous les procédés plasma mettent en jeux une combinaison de différents effets.