Dioxyde de Silicium

La Gravure Ionique Réactive permet une gravure anisotrope avec des vitesses de gravure élevées.
Couleur du Plasma d'Oxygène

Le SiO2 est le composé chimique le plus fréquent solide sur la terre. Il est le minéral de base du granit et de sable. Les cristaux de SiO2 sont extrêmement durs et solides. Il a également des applications techniques importantes, dans les verres minéraux et dans des isolateurs électriques. Dans la microélectronique, il est obtenu par l'oxydation du silicium élémentaire. Il peut être traité par gravure plasma de préférence avec des gaz fluorocarbonés.