Densité du Plasma

La densité du plasma n'est pas considérée comme celle d'un gaz par sa masse par rapport à son volume exprimé en unités [g / cm²], mais le pourcentage de gaz ionisé par rapport au total d'ions et gaz neutre du plasma. Autrement dit, la quantité d'ions par rapport à la somme des ions et des atomes ou molécules. Par conséquent, la densité ionique est la désignation la plus fréquente. Aucun plasma industriel n'est complètement ionisé, car parallèlement au processus d'ionisation la recombinaison de particules conduit à la formation d'espèces neutres.

Des énergies supérieures, des fréquences plus élevées d'oscillation du champ HF et la pression basse du gaz de procédé augmente la densité du plasma.