Chambre

La chambre plasma d'un système sous vide ou tout simplement "la chambre" est conçue pour résister à la pression. Elle est l'endroit où le procédé plasma se déroule. Elle doit être fabriquée à partir d'un matériau qui résiste aux procédés plasma exécutés à l'intérieur. Cependant plusieurs procédés plasma. les chambres sont très souvent en acier inoxydable cependant certains procédés exigent qu'elles soient fabriquées en quartz Verre Quartzde haute pureté.

La chambre du système plasma « Bel Jar » de Diener electronic est fabriquée en quartz haute pureté
Les chambres standards sont habituellement en acier inoxydable