Auto-polarisation: Self-Bias

L'électrode électrodeplane n'est pas directement reliée au générateur de haute fréquence, elle est séparée par un condensateur. Par conséquent les électrons Électronvont charger l'électrode dans sa phase positive ne peuvent s'échapper et s'accumulent sur cette électrode. Cela provoque une polarisation négative de cette électrode. Ainsi chargée négativement l'électrode attire et accélère les Ionions chargés positivement. Un substrat positionné sur cette électrode se verra bombardé par des ions à haute vitesse. L'énergie cinétique de ces ions provoque la gravure physique du substrat. Cet effet est utilisé pour la gravure ionique (IE) et la gravure ionique réactive (RIE).

Les systèmes de plasma mettant à profit cette auto-polarisation fonctionnent habituellement à haute fréquence, dans la gamme du MHz13,56 MHz.

 

 

Dans le procédé de gravure ionique le substrat est chargé négativement par l'effet d'auto-polarisation.