Tétrafluorométhane

Le tétrafluorométhane CF4 correspond à la molécule de méthane dans laquelle les 4 liaisons hydrogène ont été remplacées par du fluor. 
Dans le processus plasma, il s'agit d'un gaz de traitement fréquemment utilisé, surtout pour les processus de gravure. Le tétrafluorométhane (CF4, aussi appelé fréon 14) est complètement inerte dans des conditions normales, mais forme des atomes de fluor libres et des radicaux CF2 et CF3 dans le plasma. Ces derniers ont un effet de gravure très fort, par exemple sur le dioxyde de silicium. Des mélanges de CF4 et O2 attaquent environ 5 fois plus vite que l'oxygène pur.

retour au glossaire

+49 7458 99931-0

Demandez l'avis d'experts au téléphone

info@plasma.com

Faites-nous part de ce qui vous préoccupe

Demander une offre

Vous savez exactement ce que vous voulez