Bombas de vacío

¿Qué bombas de vacío se utilizan con mayor frecuencia en la tecnología del plasma?

Las bombas de vacío sirven para la generación de vacío en el receptor del sistema de plasma.

Las bombas de vacío más utilizadas en la tecnología del plasma son las siguientes:

1. Bombas de paletas

Una bomba de paletas consta de una carcasa en la que gira un rotor excéntrico. En su interior, se encuentran las paletas accionadas por muelles, que se presionan contra la pared interior de la carcasa y se deslizan a lo largo de la misma. El gas encerrado del lado de la succión se comprime hasta que supera la presión ambiente y se abre la válvula de escape del lado de la presión.

La bomba funciona en un baño de aceite. Esto tiene las siguientes ventajas:

  • Sellado del lado de succión y del de presión
  • Disminución de la fricción

Las bombas de paletas se utilizan particularmente en nuestros sistemas estándar. Cuanto mayor es la bomba, menor es el tiempo del proceso.

Si se va a trabajar con oxígeno, es necesario que las bombas estén preparadas para ello. En la carcasa de la bomba se forma neblina de aceite. En el caso de usar aceite mineral, esta neblina combinada con oxígeno puro es explosiva.

Hay dos posibilidades para solucionar este problema:

1. Las bombas se llenan con aceite de PFPE. Este aceite es incombustible. Pero tiene algunas desventajas importantes:

  • El aceite de PFPE es sumamente caro
  • El aceite de PFPE contiene flúor. En los procesos con plasma se puede descomponer el aceite y se pueden formar compuestos extremamente tóxicos (p. ej., perfluoroisobutileno). Estos compuestos de aceite ya han originado accidentes peligrosos.
  • El aceite de PFPE se debe eliminar como residuo peligroso.
Modo de funcionamiento de la bomba de paletas

2. Bombas de marcha en seco para procesos con gases corrosivos

Aquí hemos tenido muy buenas experiencias con las llamadas "bombas secas de tornillo" de las empresas Busch (p. ej., modelo Cobra) y Edwards.

3. Bombas de lóbulos (bombas Roots)

La presión que puede generar una bomba de paletas está limitada. Para aumentar la potencia de la succión es necesaria la combinación con una bomba de vacío de lóbulos. Juntas forman una llamada estación de bombas. Una combinación típica se compone de:

1. La primera bomba (p. ej., una bomba de paletas) genera un prevacío. Se la denomina «bomba previa».

2. Como segunda bomba se utiliza una  bomba de vacío de lóbulos.

Corte esquemático de una bomba de lóbulos
Esquema de funcionamiento de una bomba de lóbulos

Estaremos encantados de asesorarle para elegir la bomba que mejor se adapte a sus procesos.