Sistema de plasma de baja presión Tetra 150 PC / PCCE

Sistema de plasma Tetra 150 (ejemplo)

Los sistemas de plasma Tetra 150 se pueden combinar en diferentes formas, como en un sistema modular. A continuación, brindamos un resumen de las opciones más comunes en relación con los sistemas de plasma Tetra 150. Los sistemas de plasma Tetra 150 se utilizan principalmente en las siguientes áreas:

  • Análisis (REM, TEM)
  • Arqueología
  • Automoción
  • Biotecnología
  • Elastómeros
  • Electrotécnica
  • Microscopía electrónica
  • Tecnología de precisión
  • Investigación y desarrollo
  • Tecnología de semiconductores
  • Fabricación de series pequeñas
  • Tecnología del plástico
  • Ingeniería biomédica
  • Ingeniería de microsistemas
  • Tecnología de células solares
  • Industria textil

Llámenos, estaremos encantados de asesorarle. Tel.: +49 (0) 7458 - 999 31-0

 

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Equipamiento básico

  • Los tamaños de las carcasas varían según los componentes/opciones
  • Volumen de la cámara: 150 litros según la versión
  • Tensión de alimentación: 230 V o 400 V trifásica

Suministro de gas

  • Controlador de flujo másico (MFC)

Cámara de vacío

  • Acero inoxidable rectangular, puerta con bisagras
    (aprox. An 400 mm x Al 600 mm x Pr 625 mm)

Carga

  • Portador de productos (opción: refrigerado con agua), recipiente de vidrio de cuarzo, tambor giratorio para polvo, tambor giratorio para material a granel, chapa de aluminio, chapa de acero inoxidable, vidrio de borosilicato, vidrio de cuarzo

Electrodos

  • Nivel único o múltiples
  • Electrodo RIE con ducha de gas

Control

  • Control por PCCE (Microsoft Windows CE)
  • Control por PC (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Medición de presión

  • Pirani
  • Baratron (para versión de gases corrosivos)

Temporizador

  • Digital

Generadores

Frecuencias: 40 kHz: Potencia 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W
13,56 MHz: Potencia 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W
2,45 GHz: Potencia 0 - 1200 W

Todos los generadores tienen regulación continua de 0 a 100 %

Bombas de vacío

  • De diferentes tamaños y diferentes fabricantes (con filtro de carbón activado, si se requiere)

Otras opciones

Juegos de piezas de recambio, manómetros, modelo para gases corrosivos, depósitos de gas, reductores de presión, placa de calentamiento, indicación de temperatura, cámara calefaccionable, jaula de Faraday, accesorios para polimerización con plasma, tintas de prueba, generador de oxígeno, ventilación lenta, evacuación lenta, brida de sujeción de muestras de TEM, mantenimiento/servicio, documentación en el idioma del país, instalación en sitio incl. formación. Más opciones disponibles previa solicitud