Sistema de plasma Nano de baja presión

Sistema de plasma Nano, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
Sistema de plasma Nano para desarrollo de procesos, limpieza, activación, mordentado en series pequeñas - sistemas de plasma Diener

Los sistemas de plasma Nano se pueden combinar en diferentes formas, como en un sistema modular. A continuación, le mostramos un resumen de las opciones más comunes en relación con los sistemas de plasma Nano. Los sistemas de plasma Nano se utilizan principalmente en las siguientes áreas:

  • Análisis
  • Arqueología
  • Automoción
  • Departamentos de investigación y desarrollo
  • Tecnología de semiconductores
  • Fabricación de series pequeñas
  • Tecnología del plástico
  • Ingeniería biomédica
  • Ingeniería de microsistemas
  • Sensores
  • Esterilización
  • Industria textil

Llámenos, estaremos encantados de asesorarle. Tel.: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0

Folleto de NANO

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Equipamiento básico

  • Los tamaños de las carcasas varían según los componentes/opciones
  • Volumen de la cámara: 18 hasta 36 litros según la versión
  • Tensión de alimentación: 230 V para aparatos de mesa, 400 V / trifásica para aparatos independientes

Suministro de gas

  • Válvulas de aguja
  • Controlador de flujo másico (MFC)

Cámaras de vacío

  • Acero inoxidable redondo con tapa(aprox. ∅ 267 mm, L 420 mm o L 600 mm) o
  • Acero inoxidable rectangular, puerta con bisagras(aprox. An 240 mm x Al 240 mm x Pr 420 mm o 600 mm)
  • Aluminio redondo con tapa o puerta con bisagras(aprox. ∅ 240 mm, L 400 mm o L 600 mm)
  • Vidrio de cuarzo (UHP) redondo con tapa o puerta con bisagras(aprox. ∅ 240 mm, L 400 mm o L 600 mm)
  • Vidrio de borosilicato (UHP) redondo con tapa o puerta con bisagras(aprox. ∅ 240 mm, L 400 mm o L 600 mm)

Carga

  • Portador de productos (opción: refrigerado con agua), recipiente de vidrio de cuarzo, tambor giratorio para polvo, tambor giratorio para material a granel, chapa de aluminio, chapa de acero inoxidable, vidrio de borosilicato, vidrio de cuarzo

Electrodos

  • Nivel único o múltiples
  • RIE

Control

  • Semiautomático
  • Control por PCCE (Microsoft Windows CE)
  • Control por PC (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Medición de presión

  • Pirani
  • Baratron (para versión de gases corrosivos)

Temporizador

  • Digital

Generadores

Frecuencias: 40 kHz: Potencia 0 - 300 W; 0 - 1000 W
13,56 MHz: Potencia 0 - 100 W; 0 - 300 W
2,45 GHz: Potencia 0 - 600 W

Todos los generadores tienen regulación continua de 0 a 100 %

Bombas de vacío

  • De diferentes tamaños y diferentes fabricantes (con filtro de carbón activado, si se requiere)

Otras opciones

Juegos de piezas de recambio, manómetros, modelo para gases corrosivos, depósitos de gas, reductores de presión, placa de calentamiento, indicación de temperatura, cámara calefaccionable, jaula de Faraday, accesorios para polimerización con plasma, tintas de prueba, generador de oxígeno, ventilación lenta, evacuación lenta, brida de sujeción de muestras de TEM, mantenimiento/servicio, documentación en el idioma del país, instalación en sitio incl. formación. Más opciones disponibles previa solicitud