Opciones y accesorios para sistemas de plasma

Nuestros sistemas de plasma se pueden suministrar con las siguientes opciones/accesorios —en la mayoría de los casos, se pueden agregar a posteriori—:

Generador de 2,45 GHz (microondas)

La potencia va de  0 a 850 W, el generador cuenta con interfaz para PC. Las principales aplicaciones son activación, limpieza, mordentado, semiconductores (front-end), semiconductores (back-end), polimerización con plasma.

Generador de 13,56 MHz

Para cumplir con DIN EN 55011, nuestros generadores de 13,56 MHz están estabilizados por cuarzo. La adaptación de impedancia puede ser fija, manual o automática. Las principales aplicaciones son activación, limpieza, mordentado, semiconductores (front-end), semiconductores (back-end), polimerización con plasma.

Generador de 40 kHz

La adaptación de impedancia solo puede ser automática, la potencia viene en dos modelos. Las principales aplicaciones son activación, limpieza, mordentado, semiconductores (back-end), polimerización con plasma.

Válvula de 2/2 vías para dosificación de líquido

Válvula para la dosificación selectiva de monómeros.

Filtro de carbón activado

El filtro de carbón activado se puede cambiar fácilmente.

Filtro de aspiración para vacío

Protege a la bomba de vacío de piezas que vuelen, recubrimiento y suciedad.

Puerta automática

Una puerta que se cierra automáticamente al iniciarse el proceso.

Lector de código de barras

Para el seguimiento de los lotes.

Cámara calefaccionable

La cámara se puede calefaccionar hasta cerca de 80 °C. La temperatura es regulable. Está prevista para altos índices de mordentado y requisitos definidos del proceso.

Medición de tensión polarizada

La medición de tensión polarizada es un aparato de medición disponible para generadores de kHz y MHz.

Borboteador

El borboteador es un accesorio de polimerización y se necesita para la conexión de monómeros líquidos en la cámara de vacío. En lugar de la simple botella de monómero se trabaja con un gas portador. El gas portador, p. ej.: argón, se arrastra a través del monómero.

Válvula mariposa

Se usa una válvula mariposa para regular el flujo de gas en la tecnología de vacío, especialmente dentro de la tubería de succión de las bombas de vacío. Para ello, se modifica la resistencia al flujo en la tubería, ajustando la válvula que cierra la tubería en mayor o menor grado.

Documentación en el idioma del país

La documentación se rige por la norma de maquinaria 89/392/CEE. Esto es válido para las versiones en alemán e inglés. La documentación no se incluye automáticamente con el sistema y debe solicitarse por separado.

Tambor giratorio

Portador de productos para materiales a granel.

Manómetros

Sensor Pirani o Baratron, indicación de la presión en la cámara de vacío.

Reductor de presión

El reductor de presión se conecta al depósito de gas - 200 bar. Los diferentes gases necesitan diferentes reductores de presión. Por eso, hay uno para gases nobles, H2, O2, CF4, C4F8 y uno para NH3.

Sistemas continuos

Para integrar un sistema de plasma a baja presión en una línea de trabajo automatizada.

Juegos de piezas de recambio estándar o PFPE

Cada juego de piezas de recambio contiene 1 anillo tensor, 1 empaquetadura, 1 tubo flexible ondulado de acero inoxidable (tubo de vacío), 1 vidrio para ventana, 1 junta estanca para la puerta, 10 fusibles finos para el sistema de plasma, además, en el juego estándar, 1 litro de aceite mineral para la bomba de vacío y en el juego PFPE 1 litro de aceite de PFPE para la bomba de vacío.

Impresora de etiquetas

Impresión automática de etiquetas después del tratamiento con plasma.

Lector de etiquetas

Para el seguimiento de lotes.

Caja/jaula de Faraday

Para componentes eléctricamente sensibles. Las piezas que deben ser tratadas están en la caja de Faraday. Se puede extraer de la cámara de vacío.

Soporte para depósitos de gas

Para fijar a la mesa de trabajo, en estantes o listones en la pared. El vano es de 70 mm. La correa ajusta sin holgura. Se adapta a todos los tamaños de depósitos.

Detector de gas (Dräger)

Opción de seguridad adicional cuando se usan gases inflamables en los lugares de trabajo.

Control semiautomático

En el punto Sistemas de plasma/Controles/Control semiautomático encontrará una descripción detallada de las diferentes variantes de controles.

Placas de calentamiento

Las partes que deben tratarse se colocan sobre una placa de calentamiento que se puede calentar hasta un máx. de 150 °C, y es apta para altos índices de mordentado y requisitos definidos del proceso. Hay dos opciones:

Con dispositivo indicador de temperatura, en la cámara de vacío se coloca un sensor térmico para poder medir la temperatura de la superficie del componente. Con indicación de temperatura integrada en el control por PC, también se coloca un sensor térmico en la cámara de vacío para poder medir la temperatura de la superficie del componente. En este caso se muestra la temperatura en la pantalla.

Instalación de su sistema de plasma in situ

Esta opción consta de tiempo de desplazamiento, horas de trabajo y costo del viaje de nuestros técnicos.

Modelo de gas corrosivo

Válvulas de acero inoxidable, tuberías de acero inoxidable. Imprescindible para la polimerización con plasma o para el uso de gases corrosivos como NH3, H2O, CF4, SF6.

Portador de productos específico para el cliente

Nuestros sistemas se entregan de forma estándar siempre con un portador de productos. Versiones adicionales o distintas —para el aprovechamiento óptimo del sistema de plasma— se pueden fabricar en acuerdo con Diener electronic.

Conjunto de pintura en aerosol/placas de vidrio (ensayo de ausencia de sustancias que afectan la pintura)

Accesorio para el ensayo de falla de humectación de la pintura. Volumen de suministro: Pintura en aerosol en lata, 5 unidades de 400 ml c/u. Placas de vidrio, 100 unidades de 90 mm x 110 mm c/u.

Ventilación lenta de la cámara de vacío

La cámara de vacío se ventila lentamente a través de un filtro. Esto impide que las piezas pequeñas den vueltas dentro de la cámara.

Evacuación lenta de la cámara de vacío

Evacuación lenta de la cámara de vacío a través de una válvula de derivación. Esto impide que las piezas pequeñas den vueltas dentro de la cámara.

Cámaras de vacío más largas (Femto, Pico, Nano, ...)

Las cámaras de vacío se pueden suministrar de acero inoxidable, vidrio de borosilicato o vidrio de cuarzo. El cierre de la cámara se puede elegir con tapa o puerta con bisagra. La longitud de la cámara de vacío depende de las exigencias de la aplicación del plasma. Consúltenos.

Indicación de potencia

Indicación de la potencia del generador. Instrumento de indicación analógica.

Electrodo de varios niveles

El electrodo de varios niveles se puede suministrar para cámara de vacío redonda o rectangular. Permite tratar varias piezas a la vez. El área de aplicación son los procesos estándar con plasma. Consulte a Diener electronic en relación con la construcción específica de su electrodo individual y las opciones de materiales alternativos para la fabricación del portador de productos.

Detector de fugas de microondas

Dado que la radiación es peligrosa, puede ser conveniente colocar un detector de fugas en los sistemas de microondas.

Botella de monómero

Accesorio de polimerización. Para conectar monómeros líquidos a la cámara de vacío.

Conexión de red

Permite vincular el sistema con un ordenador.

OES: espectrómetro óptico de emisiones

Monitoreo del proceso de plasma para el aseguramiento de la calidad. Detección del punto final del proceso de plasma. OES solo en combinación con un sistema controlado por PC.

Control por PC

En el punto Sistemas de plasma/Controles/Control por PC encontrará una descripción detallada de las diferentes variantes de controles.

Control por PCCE

Sobre la base de Windows CE con panel táctil. En la opción de menú Sistemas de plasma/Controles/Control por PCCE encontrará una descripción detallada de las diferentes variantes de controles.

Accesorio de polimerización

Contiene botella vaporizadora, una balanza, bomba dosificadora, calefacción, eventualmente un soporte.

Botella de gas del proceso

Botella de oxígeno, de 2, 5 o 10 litros, para conectar como gas de proceso, botella de hidrógeno de 2 litros, botella de argón de 5 litros. Para el suministro de gases se deben tener en cuenta los requisitos especiales para el transporte. En el caso de sistemas para alquilar, es necesaria la compra de la botella.

Recipiente de vidrio de cuarzo

Disponible en dos tamaños. Para procesos de plasma ultralimpios o para tratamiento de obleas.

Electrodo RIE

De acero inoxidable, disponible redondo o rectangular, para mayores índices de mordentado. El campo de aplicación es el mordentado anisótropo e isótropo.

Electrodo RIE con ducha de gas

Rectangular de acero inoxidable. Logra mayores índices de mordentado por medio de una distribución más homogénea del gas. El campo de aplicación es el mordentado anisótropo.

Sistema rollo-a-rollo

P. ej., para el tratamiento de láminas/marcos de conexión.

Generador de oxígeno

El oxígeno se genera a partir del aire del ambiente. Modelo Kröber O2. Producción de oxígeno: 3-6 l/min.

Válvula de seguridad

Para el manejo de gases inflamables, tales como hidrógeno, acetileno, etc.

Electrodos especiales y portadores de productos

Consulte a Diener electronic en relación con la construcción específica de su electrodo individual y las opciones de materiales alternativos para la fabricación del portador de productos.

Bridas especiales/adicionales

Las bridas especiales se emplean cuando se necesitan más conexiones que las preparadas.

Cámaras especiales de vacío

En cumplimiento con DIN 12198, nuestros sistemas (mirilla) se han sometido a una medición de la intensidad de radiación UV. Resultado: inocuo. Las cámaras especiales de vacío están disponibles en los modelos redondo con tapa, rectangular y puerta con bisagra, son de aluminio y se diferencian también por el diámetro de la abertura y las dimensiones interiores. Consúltenos.

Electrodo estándar redondo o rectangular

De chapa de acero inoxidable/aluminio para procesos estándar con plasma.

Portamuestras TEM

Dispositivo especial que permite la inserción en la cámara de plasma desde el exterior. Se puede fabricar en cualquier tamaño. Comuníquenos las medidas de sus piezas o envíenos los planos.

Dispositivo indicador de temperatura

El dispositivo indicador de temperatura de la cámara sin placa de calentamiento. En la cámara de vacío se coloca un sensor térmico. Permite medir la temperatura de la superficie del componente. La indicación de temperatura también puede estar integrada en el control por PC. En este caso, se muestra la temperatura en la pantalla.

Juego de tintas de prueba

Tintas de prueba para ensayar con facilidad la tensión superficial. En un juego se encuentran 28, 38, 56, 64, 72 y 105 mN/m. Otros valores se suministran a pedido.

Evaporador térmico

Para sustancias con baja presión de vapor. Diámetro de la escudilla: 16 mm, volumen de la escudilla: 0,1 l. Blindaje contra exposición al plasma, control de temperatura (máx. 500 °C) y de la velocidad de aumento de temperatura (hasta 250 °C/min). La conexión se realiza a través de paso de brida pequeña. 

Cámaras de vacío de vidrio (de borosilicato o cuarzo)

Cámaras de vacío de vidrio de borosilicato para procesos de plasma de limpieza fina. Cámaras de vacío de vidrio de cuarzo para procesos de plasma de limpieza ultrafina.

Cámaras de vacío de acero inoxidable

Las cámaras de vacío de acero inoxidable son para procesos estándar con plasma.

Estaciones de bombas de vacío

Bombas de paletas o de marcha en seco con aceite mineral o PFPE. Las bombas se suministran llenas de aceite.

Control automático

En la opción de menú Sistemas de plasma/Controles/Control automático encontrará una descripción detallada de las diferentes variantes de controles.

Dispositivo para el tratamiento de polvo

El polvo se trata en un recipiente de gas giratorio. El recipiente se puede retirar del sistema para el llenado.

Bolsa de lavado

Para la limpieza previa de piezas pequeñas en la lavadora. Dimensiones: 500 mm x 300 mm. Cantidad mínima por pedido: 20 unidades

Refrigeración por agua

Refrigeración por agua y aire con ruedas para el uso móvil. Conexión libre de potencial por medio de 2 contactos inversores para el encendido de la bomba.

Oferta de mantenimiento para su sistema de plasma

La oferta de mantenimiento de Diener electronic consta de un servicio completo. Cambio de aceite, control de todas las conexiones, empaquetaduras, conectores, etc., ensayo del índice de fugas, compensación del sensor de presión, y una verificación del funcionamiento. Para obtener más información sobre el mantenimiento y servicio, haga clic en el punto «Asesoramiento/servicio».

Lavadora-secadora

Para la limpieza inicial de piezas pequeñas antes del tratamiento con plasma. Solo necesaria en caso de gran suciedad. Fabricante: Miele: Modelo WT 2670 WPM.

Placa portadora de productos refrigerada por agua

La placa refrigerada por agua se monta sobre el piso de la cámara y se suministra con bomba de agua y tanque de agua incluidos. Se utiliza para refrigerar piezas sensibles al calor.

Otras funciones de software

El software se puede actualizar en cualquier momento y agregarle nueva funciones. Comuníquenos sus necesidades.

Canales adicionales de gas

Válvulas de aguja: Nuestros sistemas pueden equiparse con la cantidad de válvulas de aguja que se desee. El sistema estándar modelo Femto cuenta con 1-3 unidades, las adicionales se suministran a pedido.

MFC adicionales

MFC: Necesarios con los controles por PC y PCCE. Nuestros sistemas pueden equiparse con la cantidad de controladores de flujo másico (MFC) que se desee.