Generadores de plasma

Un sistema de plasma necesita generadores para funcionar. La mejor frecuencia para una determinada aplicación de plasma no se puede definir de forma genérica, sino que debe decidirse en cada caso. Desde hace años, los generadores de plasma con frecuencias de 50 kHz y 2,45 GHz forman parte de la oferta de productos de Diener electronic; ahora se incorporan los generadores de 13,56 MHz con 100 y 300 W, desarrollados y producidos por nosotros.

Ventajas de los generadores de 13,56 MHz:

  1. Funcionamiento RIE posible
  2. Homogeneidad es mejor que con 2,45 GHz
  3. El índice de mordentado a igual potencia es mayor que con 40 kHz.
  4. Se pueden utilizar tambores giratorios de metal sin problemas
  5. Se pueden montar electrodos/portadores de productos, pero la sinterización de los electrodos es muy laboriosa
  6. Aptos para procesos de front-end y back-end de semiconductores
  7. Altos índices de recubrimiento en procesos de polimerización con plasma

Las principales aplicaciones de ambas potencias son activación, limpieza, mordentado, semiconductores (front-end), semiconductores (back-end), y polimerización con plasma. La adaptación de impedancias se puede hacer manualmente (handmatching) y también automáticamente (automatching), pero siempre es necesaria, por eso el sistema HF consta de generador y adaptación.

Mientras que en la adaptación manual es necesario ajustar cada tipo de proceso y controlar y reajustar esporádicamente durante el proceso, los condensadores se ajustan automáticamente y se vuelven a ajustar en caso de modificaciones.

Además, es posible la visualización de las potencias de avance y retroceso, el apagado de seguridad desde los interruptores de la puerta y del vacío, frecuencia estabilizada por cuarzo para cumplir con DIN EN 55011 e interfaz de PC.

Haga clic aquí para obtener más información de los generadores individuales:

Generador de 13,56 MHz - 100 W

Generador de 13,56 MHz - 300 W

Automatching para 13,56 MHz 

Generador LFG - 500 W (80 kHz)

Generador LFG - 1200 W (80 kHz)

Generador LFG - 3000 W (80 kHz)

Generador LFG - 5000 W (80 kHz)

Generador de MW - 850 W (2,45 GHz)