Minisistema Pico UHP: también apto para limpieza de componentes ópticos
Plasma en el receptor de vidrio del Pico UHP

Sistema PICO UHP para alquilar: disponible en plazos muy breves

El minisistema PICO UHP  con sus cuatro litros de volumen de cámara y control semiautomático se utiliza principalmente en las siguientes áreas:

  • Fabricación de series pequeñas
  • Análisis (REM, TEM)
  • Ingeniería biomédica
  • Departamentos de investigación y desarrollo
  • Tecnología de semiconductores
  • Tecnología del plástico

UHP significa Ultra High Purity. Esta denominación se aplica a los receptores de vidrio de nuestros sistemas de plasma, que pueden ser de vidrio de borosilicato o vidrio de cuarzo, según la preferencia del cliente. La opción UHP solo está disponible para los sistemas: Femto, Pico y Nano.

Las cámaras de vidrio se utilizan en sistemas de microondas y/o para aplicaciones en las que es necesaria una superficie ultralimpia. Las cámaras normales de acero inoxidable o aluminio, al igual que todos los metales de un sistema de plasma, incluido el producto que se va a tratar, admiten la pulverización catódica en muy pequeñas cantidades. Para la mayoría de los procesos esto no es significativo y se puede despreciar. Los componentes de aluminio de un sistema UHP están recubiertos con AL2O3. Debido a la ausencia de receptores de acero inoxidable, el sistema es apto para aplicaciones en las que las trazas de cromo, níquel y hierro sean perjudiciales.

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 550 mm, Al 330 mm, Pr 500 mm

Cámara:
∅ 130 mm, L 300 mm
Abertura de la cámara: ∅ 125 mm
Materiales: Vidrio de cuarzo o borosilicato
Pared frontal y posterior de la cámara: Aluminio

Volumen de la cámara:
aprox. 4 litros

Suministro de gas:
2 dos canales de gas a través de válvula de aguja

Generador:
40 kHz / 100 W, continuo
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Bomba de vacío:
Leybold, modelo Trivac D 2,5B (2,5 m3/h)

Alojamiento de piezas:
1 portador de productos

Control:
semiautomático, duración del proceso con temporizador

Opciones/accesorios