Minisistema Nano UHP con control semiautomático: Limpieza, activación, mordentado, recubrimiento

Sistema NANO UHP para alquilar

El minisistema NANO UHP con sus 18 litros de volumen de cámara y control semiautomático se utiliza principalmente en las siguientes áreas:

  • Fabricación de series pequeñas
  • Análisis (REM, TEM)
  • Electrotécnica
  • Ingeniería biomédica
  • Tecnología del plástico
  • Elastómeros
  • Investigación y desarrollo

UHP significa Ultra High Purity. Esta denominación se aplica a los receptores de vidrio de nuestros sistemas de plasma. Pueden ser de vidrio de borosilicato o vidrio de cuarzo, según la preferencia del cliente. La opción UHP solo está disponible para los siguientes sistemas: Femto, Pico y Nano

Las cámaras de vidrio se utilizan en sistemas de microondas y/o para aplicaciones en las que es necesaria una superficie ultralimpia. Las cámaras normales de acero inoxidable o aluminio, al igual que todos los metales de un sistema de plasma, incluido el producto que se va a tratar, admiten la pulverización catódica en muy pequeñas cantidades. Para la mayoría de los procesos esto no es significativo y se puede despreciar. Los componentes de aluminio de un sistema UHP están recubiertos con AL2O3. Debido a la ausencia de receptores de acero inoxidable, el sistema es apto para aplicaciones en las que las trazas de cromo, níquel y hierro sean perjudiciales.

Datos técnicos:

Armario eléctrico:
An 580 mm, Al 650 mm, Pr 600 mm

Cámara:
∅ 240 mm, L 400 mm
(opcional: L 600 mm)
Abertura de cámara: ∅ 230 mm
materiales: Vidrio de cuarzo o borosilicato
Pared frontal y posterior de la cámara: Aluminio

Volumen de la cámara:
aprox. 18 litros

Suministro de gas:
2 dos canales de gas a través de válvula de aguja

Generador:
40 kHz / 300 W, continuo
(opcional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Bomba de vacío:
Leybold, modelo D8B (8 m3/h)

Alojamiento de piezas:
1 portador de productos

Control:
semiautomático, duración del proceso con temporizador

Opciones/accesorios