Sistemas especiales y en línea/totalmente automáticos

Sistemas de plasma de baja presión (limpiador de plasma)

Fabricamos nuestros sistemas de plasma de forma especial, para que se ajusten a sus necesidades. Para el diseño, resultan determinantes aspectos como el caudal de material esperado y el tamaño de las piezas que van a tratarse. Un sistema de ciclo breve puede integrarse a la perfección en una línea de producción existente. Además, un sistema de ciclo breve totalmente automatizado permitirá descartar errores de manejo.

Esta es una pequeña selección de los sistemas especiales/en línea ya fabricados

Tetra 120 LF-PC

| Sistema en línea

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 600mm, Al 2150 mm, P 1000 mm
  • Cámara: An 1200 mm, Al 150 mm, P 700 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 120 litros
  • Alimentación de gas: 4 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 2 unidades (cada una, 40 kHz) (opcionalmente: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Control: control por PC (Windows) con bus de campo industrial
  • Automatización: el sistema cuenta con una puerta automática

Tetra 185, grabado sacrificial de PCB

| Sistema especial

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 600 mm, Al 2100 mm, P 1000 mm
  • Cámara: An 400 mm, Al 665 mm, P 700 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 185 litros
  • Alimentación de gas: 4 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 1 unidad (80 kHz)
  • Control: control por Full PC

Características:

  • Grabado sacrificial de diversos materiales (limpieza de paredes de agujeros)
  • Limpieza de superficies
  • Activación de superficies metálicas
  • 7 compartimentos para tratar simultáneamente 7 placas de circuito impreso de máx. 460 × 610 mm o 14 placas de circuito impreso de máx. 230 × 305 mm

Tetra 210 LF-PC

| Sistema en línea

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 1560 mm, Al 2350 mm, P 1860 mm
  • Cámara: An 6000 mm, Al 600 mm, P 600 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 210 litros
  • Alimentación de gas: 2 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 1 generador de impulsos (40 kHz) (opcionalmente: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Control: control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Tetra 216 LF-PC

| Sistema especial

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 600 mm, Al 1700 mm, P 800 mm
  • Cámara: An 600 mm, Al 600 mm, P 620 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 216 litros
  • Alimentación de gas: 5 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 1 unidad (80 kHz) 
  • Control: control por PC (Windows) con bus de campo industrial 

Tetra 330 LF-PC

| Sistema en línea

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 1200 mm, Al 1800 mm, P 1800 mm
  • Cámara: An 530 mm, Al 700 mm, P 900 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 330 litros
  • Alimentación de gas: 4 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 1 unidad (80 kHz) 
  • Control: control por PC (Windows) con bus de campo industrial 

Tetra 375 rodillo a rodillo

| Sistema especial

Datos técnicos

  • Carcasa con armario eléctrico: An 3150 mm, Al 2200 mm, P 1800 mm
  • Cámara: An 1500 mm, Al 1000 mm, P 250 mm
  • Gas: 3 de gas, 1 de ozono
  • Generador de tensión 5000
  • Control: control por PC
  • Sistema de rodillo a rodillo con dos circuitos separados para un tratamiento independiente.
     

Tetra 575 LF-PC

| Sistema especial

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 1150 mm, Al 1900 mm, P 1600 mm
  • Cámara: An 600 mm, Al 1200 mm, P 800 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 575 litros
  • Alimentación de gas: 2 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 1 unidad (40 kHz) (opcionalmente: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Alojamiento de piezas: 22 pisos/soporte de mercancías (variable)
  • Control: control por PC (Windows) 

Tetra 400 LF-PC

| Sistema especial

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 600 mm, Al 2100 mm, P 650 mm
  • Cámara: An 915 mm, Al 750 mm, P 725 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 400 litros
  • Alimentación de gas: 3 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 2 unidades (cada una, 40 kHz) (opcionalmente: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Control: control por PC (Windows) con bus de campo industrial
  • Automatización: el sistema cuenta con una puerta corredera automática

Tetra 830 AL-PC con 2 puertas

| Sistema en línea

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 600 mm, Al 1700 mm, P 800 mm
  • Cámara: An 900 mm, Al 400 mm, P 2300 mm
  • Puertas: 2 unidades (1 delantera, 1 trasera)
  • Volumen de la cámara: aprox. 830 litros
  • Alimentación de gas: 1 canal de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 1 unidad (80 kHz)
  • Control: control por PC (Windows) con bus de campo industrial
  • Automatización: el sistema puede integrarse en una línea de producción.

Tetra 800 LF-PC

| Sistema especial

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 600 mm, Al 1800 mm, P 800 mm
  • Cámara: An 1250 mm, Al 550 mm, P 1120 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 800 litros
  • Alimentación de gas: 3 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 1 unidad (40 kHz)
  • Control: control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Tetra 810 LF-PC

| Sistema especial

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 1200 mm, Al 2200 mm, P 2000 mm
  • Cámara: An 900 mm, Al 1100 mm, P 900 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 810 litros
  • Alimentación de gas: 2 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 1 unidad (80 kHz)
  • Control: control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Tetra-1200-LF-PC 

| Sistema especial

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 1000 mm, Al 1000 mm, P 1800 mm
  • Cámara: An 600 mm, Al 1000 mm, P 2000 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 1200 litros
  • Alimentación de gas: 2 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 3 unidades (cada una, 40 kHz)
  • Control: control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Tetra 2800-LF-PC

| Sistema especial

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 600 mm, Al 1700 mm, P 800 mm
  • Cámara: ∅ 1200 mm, P 2500 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 2800 litros
  • Alimentación de gas: 3 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 1 unidad (40 kHz) (opcionalmente: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Control: control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Tetra 3600

| Sistema especial

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico/cámara: L 450 mm, Al 210 mm, An 170 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 3600 litros
  • Alimentación de gas: 2 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 3 unidades (80 kHz) (5 kW), generador de oxígeno
  • Control: control por Full PC (Windows), brazo giratorio 
  • Sistema de cajones: soporte de mercancías extraíble

Tetra 8000-LF-PC

| Sistema especial

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 2000 mm, Al 1800 mm, P 1000 mm
  • Cámara: An 1700 mm, P 2800 mm, Al 1700 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 8000 litros
  • Alimentación de gas: 2 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 4 unidades (cada una, 40 kHz) (opcionalmente: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Control: control por PC (Windows) con bus de campo industrial

Bell Jar 35

| Sistema especial

El sistema de plasma Bell Jar 35 es un sistema de investigación desarrollado para experimentos científicos. El sistema es adecuado tanto para evaporación térmica, sputtering (pulverización catódica), evaporación por haz de electrones, recubrimientos metálicos para microscopio electrónico de barrido y preparaciones de muestras como para procesos con plasma clásicos.

 

 

Datos técnicos:

  • Carcasa: aprox. An 560 mm × Al 1640 mm × P 620 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 35 litros
  • Alimentación eléctrica: 230 V/16 A
  • Alimentación de gas: 3 controladores de flujo de masa (MFC)
  • Cámaras de vacío: campana de vidrio de borosilicato, ∅ 315 mm × Al 500 mm
  • Fuente de sputtering: 1 fuente de sputtering de 2"-3" + shutter (opcionalmente, con chimenea y entrada de gas para procesos reactivos)
  • Soporte del sustrato: ∅ 140 mm (opcionalmente: giratorio, calefacción del sustrato, refrigeración del sustrato), conectable como electrodo para el tratamiento previo con plasma (limpieza, activación, grabado)
  • Control: control por PC (Microsoft Windows XPe) 
  • Medición de presión: Pirani
  • Bombas de vacío: en diferentes tamaños y de distintos fabricantes (si se desea, con filtro de carbón activo)
  • Opciones adicionales: juegos de repuestos, manómetro, versión de gas corrosivo, bombonas de gas, reductor de presión, placa calefactora, indicación de temperatura, cámara térmica, jaula de Faraday, accesorios para polimerización por plasma, tintas de prueba, generador de oxígeno, ventilación lenta, bombeo lento, brida para portamuestras de microscopio electrónico de transmisión, mantenimiento/servicio técnico, documentación en el idioma del país, instalación in situ (incluidos cursos de formación). Opciones adicionales a petición.

 

Frecuencias de generadores de tensión:    

  • 40 kHz: potencia de 0-500 W
  • 13,56 MHz: potencia de 0-300 W
  • Fuente de tensión de polarización DC o impulsos monopolares
  • Potencia máx. 300 W, tensión máx. 600 V DC
  • Los generadores de tensión pueden regularse de manera continua del 0 al 100 %.

Tetra 30 LF-PC

| Sistema en línea

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 800 mm, Al 600 mm, P 500 mm
  • Cámara: An 240 mm, Al 150 mm, P 240 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 30 litros
  • Alimentación de gas: 1 canal de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 1 unidad (40 kHz) (opcionalmente: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Control: control por PC (Windows) con bus de campo industrial
  • Automatización: el sistema puede integrarse en una línea de producción.
  • Este sistema también puede adquirirse como juego de instalación.

Tetra 100 LF-PC

| Sistema especial

Datos técnicos:

  • Armario eléctrico: An 2000 mm, Al 2200 mm, P 2000 mm
  • Cámara: An 700 mm, Al 200 mm, P 700 mm
  • Volumen de la cámara: aprox. 100 litros
  • Alimentación de gas: 3 canales de gas mediante MFC
  • Generador de tensión: 1 unidad (40 kHz) (opcionalmente: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Control: control por PC (Windows) con bus de campo industrial
  • Automatización: el sistema cuenta con una puerta de acceso a cajones

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