Tetrafluorometano

El tetrafluorometano (CF4) equivale a una molécula de metano con los 4 enlaces de hidrógeno sustituidos por flúor. 
Se trata de un gas de proceso utilizado con frecuencia en los procesos con plasma, sobre todo, en los procesos de grabado. En condiciones normales, el tetrafluorometano (CF4, también denominado Freón 14) resulta totalmente inerte; en cambio, en el plasma forma átomos de flúor y radicales de CF2 y CF3, que ejercen un fuerte efecto de grabado, p. ej., sobre el dióxido de silicio. Las mezclas de CF4 y O2 producen un grabado aprox. 5 veces más rápido que el del oxígeno puro.

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