Generadores de tensión
Para sistemas de plasma
Para que funcione un sistema de plasma, necesita un generador. La frecuencia idónea para la aplicación de plasma deseada no puede establecerse de forma general, sino que debe decidirse en cada caso concreto. Durante muchos años, Diener electronic ha contado con los generadores de tensión de plasma a frecuencias de 40 kHz y 2,45 GHz en su gama de productos; ahora, les ha sumado los generadores de tensión de 13,56 MHz a 100 y 300 W, de desarrollo y fabricación propios.
Los ámbitos de aplicación principales para ambas potencias son los trabajos de activación, limpieza y grabado con plasma, el tratamiento de semiconductores (tanto front-end como back-end) y la polimerización por plasma. La adaptación de la impedancia puede efectuarse tanto manualmente (hand matching) como de forma automática (auto matching). Se trata de una operación obligatoria en todos los casos. Debido a ello, el sistema de alta frecuencia consta de generador de tensión e igualador (matching).
Mientras que, en el hand matching, el igualador se ajusta con cada inicio del proceso y debe comprobarse y corregirse esporádicamente durante su transcurso, los condensadores se ajustan automáticamente y se reajustan si se han producido cambios.
Asimismo, es posible indicar las potencias directa e inversa, efectuar una desconexión de seguridad con el interruptor de puerta y el interruptor de seguridad de vacío, mantener una frecuencia estabilizada por cuarzo según DIN EN 55011 y disponer de una interfaz de PC.
Generador de 2,45 GHz (microondas)
La potencia oscila entre 0 y 850 vatios, y el generador de tensión dispone de una interfaz de PC. Los ámbitos de aplicación principales son los trabajos de activación, limpieza y grabado, el tratamiento de semiconductores (tanto front-end como back-end) y la polimerización por plasma.
El generador de microondas también se ofrece a 1200 W.
Datos técnicos:
Máx. potencia de salida: 1200 W
Máx. corriente de salida: 300 mA
Máx. tensión de salida: 5000 V
Máx. potencia de entrada: <1300 W
Máx. corriente de entrada: 9 Arms
(sin PFC)
Tensión de red: 210-250 V AC
Eficiencia: >95 % (con potencia nominal)
Regulación de potencia Corriente: 0-300 mA
Potencia: 0-1200 W
Modo de impulsos: 100 µs - 100 ms (tiempo de impulso/pausa)
Error de regulación: ±5 % (respecto al valor máximo, con compensación de temperatura)
Refrigeración: aire, máx. 70 l/min, con regulación por temperatura
Temperatura ambiente: +15 - +40 °C
Tiempo de disparo en caso de error de carga Cortocircuito/ralentí: <1 s, error de regulación: <5 s
Dimensiones: hasta 485 × 145 × 290 mm³ (An × Al × P)
Peso: aprox. 6,0 kg
Generador LFG, 500 W
Máx. potencia de salida: 500 W
Máx. corriente de salida: 1,3 W
Máx. tensión de salida: 1200 V AC
Máx. consumo de energía: 560 W
Tensión de entrada: 210-230 V AC, 50/60 Hz
Corriente de entrada: máx. 2,6 Arms
Eficiencia: >90 % (con potencia nominal)
Modo de ajuste de potencia: Modo de corriente: 0,1-1,3 A Modo de potencia: 10-500 W (vía conexión D-Sub o PC) Modo de impulsos:
• Ancho de impulsos: 100 µs - 100 ms
• Retardo de impulsos: 100 µs - 100 ms
Precisión: superior a ±5 % del valor final
Protección contra modificaciones erróneas para evitar ralentí y cortocircuito
• Tiempo de desconexión en caso de ralentí/cortocircuito:
<1 s
• Tiempo de desconexión en caso de modificación errónea:
<5 s
Funcionamiento en paralelo sincronizado
Rango de temperaturas (durante el funcionamiento): +15 - +40 °C
Refrigeración: flujo de aire máx. 70 m³/h. Conexiones:
• D-Sub 25 (hembra) para control remoto por medio de sistemas industriales (nivel de tensión de 24/10 V)
Peso: 5,6 kg
Aplicaciones:
• Generadores de plasma de baja presión
Generador LFG, 1000 W
Máx. potencia de salida: 1200 W
Máx. corriente de salida: 4 A
Máx. tensión de salida: 1200 V AC
Máx. consumo de energía: 1500 W
Tensión de entrada: 210-230 V AC, 50/60 Hz
Corriente de entrada: máx. 3 × 5 Arms
Eficiencia: >90 % (con potencia nominal)
Modo de ajuste de potencia: Modo de corriente: 1-4 A Modo de potencia: 300-3000 W (vía conexión D-Sub o PC) Modo de impulsos:
• Ancho de impulsos: 100 µs - 100 ms
• Retardo de impulsos: 100 µs - 100 ms
Precisión: superior a ±5 % del valor final
Protección contra modificaciones erróneas para evitar ralentí y cortocircuito
• Tiempo de desconexión en caso de ralentí/cortocircuito:
<1 s
• Tiempo de desconexión en caso de modificación errónea:
<5 s
Funcionamiento en paralelo sincronizado
Rango de temperaturas (durante el funcionamiento): +15 - +40 °C
Refrigeración: flujo de aire máx. 70 m³/h
Conexiones:
• D-Sub 25 (hembra) para control remoto por medio de sistemas industriales (nivel de tensión de 24/10 V)
Peso: 18 kg
Aplicaciones:
• Generadores de plasma de baja presión
Generador LFG, 3000 W
Máx. potencia de salida: 3000 W
Máx. corriente de salida: 10 A
Máx. tensión de salida: 1200 V AC
Máx. consumo de energía: 3600 W
Tensión de entrada: 210-230 V AC, 50/60 Hz
Corriente de entrada: máx. 3 × 7 Arms
Eficiencia: >90 % (con potencia nominal)
Modo de ajuste de potencia: Modo de corriente: 1-4 A Modo de potencia: 300-3000 W (vía conexión D-Sub o PC) Modo de impulsos:
• Ancho de impulsos: 100 µs - 100 ms
• Retardo de impulsos: 100 µs - 100 ms
Precisión: superior a ±5 % del valor final
Protección contra modificaciones erróneas para evitar ralentí y cortocircuito
• Tiempo de desconexión en caso de ralentí/cortocircuito:
<1 s
• Tiempo de desconexión en caso de modificación errónea:
<5 s
Funcionamiento en paralelo sincronizado
Rango de temperaturas (durante el funcionamiento): +15 - +40 °C
Refrigeración: flujo de aire máx. 70 m³/h
Conexiones:
• D-Sub 25 (hembra) para control remoto por medio de sistemas industriales (nivel de tensión de 24/10 V)
Peso: 18 kg
Aplicaciones:
• Generadores de plasma de baja presión
Generador LFG, 5000 W
Máx. potencia de salida: 5000 W
Máx. corriente de salida: 10 A
Máx. tensión de salida: 1200 V AC
Máx. consumo de energía: 5700 A
Conexión a la red eléctrica: 210-230 V AC, 50/60 Hz
Corriente de entrada: máx. 3 × 7 Arms
Eficiencia: >90 % (con potencia nominal)
Ajuste de potencia: Modo de corriente: 1-4 A Modo de potencia: 300-3000 W
(vía conexión D-Sub o PC) Modo de impulsos:
• Ancho de impulsos: 100 µs - 100 ms
• Retardo de impulsos: 100 µs - 100 ms
Precisión: superior a ±5 % del valor final
Protección contra modificaciones erróneas de la carga para evitar "salida abierta" y "cortocircuito"
• Tiempo de desconexión en caso de carga abierta: <1 s
• Tiempo de desconexión en caso de ajuste erróneo: <5 s
Funcionamiento en paralelo sincronizado
Rango de temperaturas durante el funcionamiento: +15 - +40 °C
Refrigeración: flujo de aire máx. 323 m³/h (con control por temperatura)
Interfaces:
• D-Sub 25 (hembra) para control remoto por medio de equipos de control de sistemas industriales (nivel de tensión de 24/10 V)
Peso: 18 kg
Aplicación:
• Generador de plasma de baja presión
