Niederdruck-Plasmaanlage Tetra 150 PC / PCCE

Plasmacleaner Tetra 150
Plasmaanlage Tetra 150 (Beispiel)

Die Tetra 150 Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Tetra 150 Plasmasystemen. Die Tetra 150 Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 

  • Analytik (REM, TEM)
  • Archääologie
  • Automotive
  • Biotechnologie
  • Elastomertechnik
  • Elektrotechnik
  • Elektronenmikroskopie
  • Feinwerktechnik
  • Forschung und Entwicklung
  • Halbleitertechnik
  • Kleinserienfertigung
  • Kunststofftechnik
  • Medizintechnik
  • Mikrosystemtechnik
  • Solarzellentechnik
  • Textiltechnik

Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: 0 74 58/999 31-0


Grundausstattung 

  • Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten/Optionen
  • Kammervolumen: je nach Version 150 Liter
  • Spannungsversorgung: 230 V oder 400 V / 3 Phasen

Gaszufuhr 

  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammer 

  • Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 400 mm x H 600 mm x T 625 mm)

Beladung 

  • Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden 

  • Ein- oder Mehretagen
  • RIE Elektrode mit Gasdusche

Steuerung 

  • PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  • PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Druckmessung 

  • Pirani
  • Baratron (für Korrosivgas-Version)

Timer 

  • Digital

Generatoren 

Frequenzen:40 kHz: Leistung 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W
13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W
2,45 GHz: Leistung 0 - 1200 W

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %

Vakuumpumpen 

  • In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)

Weitere Optionen

ErsatzteilsetsDruckmessgerätKorrosivgasausführung, Gasflaschen, DruckmindererHeizplatteTemperaturanzeigebeheizbare KammerFaraday BoxPlasmapolymerisationszubehörTesttintenSauerstoffgeneratorlangsame Belüftunglangsames AbpumpenTEM ProbenhalterflanschWartung/ServiceDokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.