Low Cost System Atto

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Die 10,5 Liter LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO mit manueller, PC und PCCE Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 

  • Kleinserienfertigung
  • Analytik (REM, TEM)
  • Medizintechnik
  • Sterilisieren
  • Forschungs- und Entwicklungsabteilungen
  • Archäologie
  • Textiltechnik
  • Kunststofftechnik

Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: 0 74 58/999 31-0

Plasmaanlage Atto mit manueller Steuerung, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie
Plasmaanlage Atto mit manueller Steuerung, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie

Technische Daten: Plasma Cleaner Atto mit manueller Steuerung

Gehäuse:B 425 mm, H 275 mm, T 450 mm

Kammer:aus Glas, ∅ 211 mm, L 300 mm

Kammervolumen:ca. 10,5 Liter

Gaszuführung:2 Gaskanäle über Nadelventil

Generator:40 kHz/200 W oder 13,56 MHz/50 W feste Matching

Vakuumpumpe:Saugleistung: 2 m3/h

Teile-Aufnahme:1 St. Warenträger

Steuerung:manuell, Prozesszeit über Analog-Timer

Plasmaanlage Atto mit externer PC Steuerung, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Technische Daten: Plasma Cleaner Atto mit externer PC-Steuerung

Gehäuse:B 525 mm, H 275 mm, T 450 mm

Kammer:aus Glas, ∅ 211 mm, L 300 mm

Kammervolumen:ca. 10,5 Liter

Gaszuführung:2 Gaskanäle über MFCs

Generator:40 kHz / 200 W oder 13,56 MHz / 50 W feste Matching

Vakuumpumpe:Saugleistung: 2 m3/h

Teile-Aufnahme:1 St. Warenträger

Steuerung:PC-Steuerung (Microsoft Windows XP)

Low-cost Plasmaanlage Atto mit eingebauter PC-Steuerung, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma etcher, Plasma activation für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Technische Daten: Plasma Cleaner Atto mit eingebauter PC-Steuerung

Gehäuse:B 525 mm, H 275 mm, T 450 mm

Kammer:aus Glas, ∅ 211 mm, L 300 mm

Kammervolumen:ca. 10,5 Liter

Gaszuführung:2 Gaskanäle über MFCs

Generator:40 kHz/200 W oder 13,56 MHz/50 W feste Matching

Vakuumpumpe:Saugleistung: 2 m3/h

Teile-Aufnahme:1 St. Warenträger

Steuerung:PC-Steuerung (Microsoft Windows XP)

Technische Daten: Plasma Cleaner Atto mit eingebauter PCCE-Steuerung

Gehäuse:B 525 mm, H 275 mm, T 450 mm

Kammer:aus Glas, ∅ 211 mm, L 300 mm

Kammervolumen:ca. 10,5 Liter

Gaszuführung:2 Gaskanäle über MFCs

Generator:40 kHz / 200 W oder 13,56 MHz / 50 W feste Matching

Vakuumpumpe:Saugleistung: 2 m3/h

Teile-Aufnahme:1 St. Warenträger

Steuerung:PC-Steuerung (Microsoft Windows CE)